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特种气体系统的设计与施工要求
发布时间： 2023-10-11 点击次数： 1877次特种气体是指那些在特定领域中应用、对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。在半导体器件，尤其是大规模和超大规模集成电路的生产过程中用途广泛。博泰小编带大家了解相关知识。
一、分类
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体。根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
二、特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
三、供气系统的选择
1、简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。2、常规供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单。3、大宗特气供气系统
大宗特气供应系统采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空。注意安全防护措施，防止泄漏侦测，设置远程紧急切断和专用氮气吹扫起源等等。
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